专利名称 一种复合金属薄膜制备方法
申请号/专利号 专利权人(第一权利人) 延边大学
申请日 2021-02-22 授权日 2022-09-13
专利类别 战略新兴产业分类 材料化工
技术主题 材料工程|复合材料|真空蒸发镀覆|材料科学|材料制备|溅射镀覆|离子注入镀覆|功能材料|纳米技术|发明专利
应用领域
意向价格 具体面议
专利概述 本发明公开了一种复合金属薄膜制备方法,属于金属薄膜制备技术领域,一种复合金属薄膜制备方法,包括以下步骤:S1、初镀,S2、混镀:形成金属膜材料‑牺牲材料混合层,S3、刻蚀:使初始金属膜表面形成粗糙层,S4、复镀,S5、出料,它可以在一层金属膜沉积成形后,通过金属膜材料和牺牲材料混合沉积形成金属膜材料‑牺牲材料混合层,然后通过牺牲材料刻蚀气体去除牺牲材料、保留初始金属膜材料,使上一层金属膜表面形成粗糙层后,再进行下一层金属膜的沉积成形,通过金属膜表面的粗糙层增加各层金属膜之间的连接强度,有效避免复合金属膜的外层膜容易剥落的问题,从而有效保障复合金属膜的多重有效功能。
图片资料 一种复合金属薄膜制备方法
合作方式 具体面议
联系人 孟爽 联系电话 18088660757