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钽金属是一种理想的医用金属材料，能够与人体软硬组织发生整合。项目利用化学气相沉积（CVD）方法，在现有医用金属器件表面获得钽金属涂层，大大提升材料的生物学性能，同时降低成本，适用于目前广泛应用的钛合金、不锈钢等医用金属材料，如血管支架、骨替代材料等。 技术特点 CVD方法可在复杂器件表面沉积涂层，涂层生成温度低，涂层质量高，厚度均匀。具体技术指标如下： 涂层厚度50微米 结合强度50Mpa （划痕法） 沉积温度（900-1000℃）、原料蒸发温度（150-300℃）、氢气流量（50-200SCCM）、工作气压（5×102-5×10-2Pa）
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