钽金属是一种理想的医用金属材料,能够与人体软硬组织发生整合。项目利用化学气相沉积(CVD)方法,在现有医用金属器件表面获得钽金属涂层,大大提升材料的生物学性能,同时降低成本,适用于目前广泛应用的钛合金、不锈钢等医用金属材料,如血管支架、骨替代材料等。
技术特点
CVD方法可在复杂器件表面沉积涂层,涂层生成温度低,涂层质量高,厚度均匀。具体技术指标如下:
涂层厚度50微米
结合强度50Mpa (划痕法)
沉积温度(900-1000℃)、原料蒸发温度(150-300℃)、氢气流量(50-200SCCM)、工作气压(5×102-5×10-2Pa)