MOCVD材料生长重大装备项目

MOCVD材料生长重大装备项目

交易信息:
完全转让-0.00 元
技术领域:
应用领域:
最后更新时间:2022-07-29 13:46
所在地:
吉林省 长春市 南关区
所有者:
飙飙
联系方式:
13756056562
在国家“863”计划等项目的支持下,系统地开展了MOCVD生长室、原料输运、电路控制等方面的设计与技术研究工作,成功研制出了具有自主知识产权的可一次生长3片2英寸外延片的研发型MOCVD设备样机,实现了衬底机座的公转/自传独立调节、具有低成本的新型原料配送结构等功能,并生产出性能优良的氮化镓基材料。
阿萨德1111245