薄膜制备系统精准到原子级别

薄膜制备系统精准到原子级别

交易信息:
完全转让-0.00 元
技术领域:
应用领域:
最后更新时间:2022-07-29 13:50
所在地:
吉林省 长春市 南关区
所有者:
飙飙
联系方式:
13756056562
原子层沉积设备技术为国家科技重大专项02专项项目“32nm以下设备关键技术研究及创新设备技术探索”成果之一,研制产品针对32nm以下技术代原子层薄膜沉积(ALD)系统及相应的高K栅介质工艺验证及新材料设备工艺进行探索。该机型突破“形核长大”薄膜材料生长原理,在国际上首创适变电场调制的原子层吸附生长方法,达到原子级别智能化,使得薄膜材料制备更精准、更致密、更均匀。
阿萨德1111245