原位透射电子显微镜是当今材料科学研究领域中非常重要的先进分析手段,它能从纳米尺度实时研究材料在复杂环境中的服役行为。该类分析设备价格昂贵、严重依赖于进口,使用性能受到很大限制。本工作自主设计构建透射电镜原位等离子体态样品台,首创实现从纳米尺度原位观测等离子体与材料的相互作用。为研究等离子体环境中的表面与界面科学,特别是研究各种等离子体条件下复杂的化学气相合成反应等开拓了必要的技术装备,具有重要的科研价值和经济意义。可广泛应用于材料科学、化学化工、生物制药等分析表征研究领域。
技术特点
透射电镜原位等离子体态样品台由样品杆和反应室组成,与JEOL、FEI、Hitachi等透射电镜有很好的设备兼容性。该样品台装备有一对由SiNx自支撑膜组成的全封闭式/流动式微型等离子体态反应室,可使用各种反应气体,气压可在760Torr-mTorr范围内变化,反应室最大高度400μm,容积连续可调,观察区域面积25×25~100×100μm2,可使用直流/射频电源,最大外加偏压800V。