铝合金腔体表面防护和缺陷修复技术

铝合金腔体表面防护和缺陷修复技术

交易信息:
完全转让-0.00 元
技术领域:
先进制造技术
应用领域:装备制造
最后更新时间:2022-07-28 15:56
所在地:
吉林省 长春市 南关区
所有者:
飙飙
联系方式:
13756056562
本项目采用冷喷涂在铝合金腔体表面喷涂防护涂层,或对铸造铝合金缺陷进行修复,满足其使用要求。该技术提供一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层的制备方法,该涂层能减少或阻止腐蚀性气体对腔体的腐蚀和金属离子对半导体晶片的污染,提高等离子体刻蚀晶片生产中反应室腔体材料的使用寿命。应用于大规模集成电路等离子体刻蚀腔体表面防护。

技术特点(包含主要技术指标)

本项目利用冷喷涂低温高速的特点,一方面在铝合金表面喷涂防护涂层,解决铝合金在强腐蚀介质中的腐蚀问题,同时保持铝合金零部件的尺寸精度;另一方面也可以对具有铸造缺陷或磨损的铝合金部件进行修复,满足其使用要求。


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